В монографии изложены физические принципы и математические методы, используемые при разработке и реализации информационно-экспертной системы для неразрушающей диагностики оздыо поверхности приборов современной микро- и наноэлектроники Книга предназначена для специалистов в области прикладных математики и физики Она может быть использована студентами и аспирантами соответствующих специальностей вузов.  Обручальное2002 г Мягкая обложка, 472 стр ISBN 5-288-01957-6 Тираж: 200 экз Формат: 60x84/16 (~143х205 мм).